技术编号：8181782
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及的是位移精密调节的技术领域。背景技术精密微位移技术是精密机械、精密测量和精密仪器的关键技术之一。近年来随着超精密加工、微电子技术、航空宇航、生物工程等学科的快速发展而发展起来精密微位移技术在现代尖端工业生产和科研领域中占有及其重要的地位，其位移精度直接影响着超精密加工水平和精密测量水平，以及精密仪器的精度，例如在超精密加工中，要获得零件形状尺寸的高精度和加工表面的超光滑，除了必须拥有超精密的机床、高精度和高分辨率的检测仪器、高精度的金刚石刀具和超稳定的加工环境条件以外，还必须具备能够实现精确对刀以...
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