技术编号：8198371
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及通过将电磁功率耦合到气体中而产生等离子体的设备。这样的设备还 被称为“等离子体源”。在本说明书中术语“等离子体发生设备”和“等离子体源”可互换使用。背景技术为了使冷等离子体表面处理技术变得流行，需要改善用于通过将电 磁功率耦合到 气体中而产生这些等离子体的设备。这些设备或“等离子体源”必须为-简单并廉价；-适于线性几何并可能地适于非平面几何；以及-能够在10_2mbar的量级的基本真空到大气压力或甚至高于大气压力的压力水平 的宽范围内操作。此外，将来自发生器的电磁功率传送到等离子体的效率必须尽可能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。