用于提纯半导体材料的包括等离子体焰炬的设备的制作方法技术资料下载

技术编号:8198749

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技术领域本发明涉及半导体材料的提纯,尤其涉及硅的提纯,以通过光伏效应形成产生电 力的单元。背景技术通常,预供光伏技术使用的硅主要由微电子工业的废料形成,因为用于光伏应用 的硅可以包含比微电子中通常需要的杂质含量(10_9)的临界值更小的杂质比例(10_6级)。希望有另一种硅源来制造适合光伏产品的硅。尤其是,微电子工业废料具有不足 以满足光伏技术需求的危险。当前尝试提纯冶金应用制造的硅,以得到纯度适合光伏技术的硅。冶金术中使用 的硅可以包含百分之几的杂质,例如铁、钛、硼、磷等。为了从半导体材料移除杂质中的一些,特别是...
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