技术编号：8221811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于偏振测量，具体涉及一种基于旋转波片法的斯托克斯偏振仪 误差标定和补偿方法。背景技术 斯托克斯参量（Stokes vector)是描述光束偏振态的一种表征方法。斯托克斯偏 振仪（Stokes polarimeter)可以准确测量入射光束的斯托克斯参量，已广泛应用于高分辨 光刻、生物医学和远程遥感等领域。在光刻系统中，基于光调制法的偏振检测技术应用最为 广泛，可准确测量照明光束和成像光束的偏振态分布，以及投影物镜的偏振像差。旋转波片 法是基于光调制...
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