技术编号：8222411
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 微机械加速度计结合了MEMS工艺和1C工艺的技术优势，具有体积小、功耗小、成 本低等特点，在民用和军事应用中均具有巨大潜力，已成为各国研宄机构或公司的研宄热 点。其中电容式微加速度计由于低功耗、高灵敏度、结构简单、温度敏感性低等优点而逐渐 成为微加速度计研宄的主流。 加速度计可以工作在开环状态或者闭环状态。开环工作状态下，加速度计的输出 由动极板的位移和位移检测电路决定，但动极板偏离平衡位置会使输出存在非线性。闭环 工作状态下，由输出决定的反馈力被加载到...
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