技术编号:8256168
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种滤光器,尤其是涉及基于金属微纳结构的一种可集成窄带微型滤光器。背景技术滤光器是光学系统和光电器件中的一个重要组成部分。随着人们对高性能、智能化、便携化光电产品的需求,滤光器的微型化、集成化成为一个重要技术课题。具有高品质、窄带宽的透射性超薄滤光器在微光学系统和器件中尤其具有重要作用,它不仅可以是其中具有滤光功能的独立单元,也可以做为较复杂光电器件的结构单元被集成于其中而发挥滤光功能。对于微型滤光器,基于Fabry-Perot谐振效应的腔式结构...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。