技术编号：8262218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在制造液晶显示和光伏打装置的过程中，涉及用于使非晶形多晶薄膜(例如，非晶形多晶硅薄膜)结晶的热处理过程。此处，如果玻璃被用作衬底，那么非晶形多晶薄膜可以通过使用激光来结晶。然而，当非晶形多晶薄膜与氧气(O2)反应时，非晶形多晶薄膜可能会被氧化以生成氧化物薄膜。图1是根据现有技术的激光热处理设备的示意图。参考图1，根据现有技术的激光热处理设备包含处理腔室10，其具有衬底I在其中进行处理的空间；透射窗口 40，其安置在处理腔室的上部上以允许激光透过；以及光源3...
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