磁控溅射镀膜设备及ito玻璃的制备方法技术资料下载

技术编号:8295348

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ITO (氧化铟锡)为η型多晶态薄膜材料,是目前在平板显示、触控等方面应用最广 的透明导电材料。无论是LCD、电阻式触摸屏还是电容式触摸屏,目前都大量采用ITO玻璃 作为其透明导电基板。ITO玻璃包括玻璃基板及层叠于玻璃基板上的ITO薄膜。 目前ITO玻璃最常用的生产工艺为磁控溅射。无论是用于IXD、电阻屏、还是电容 屏,由磁控溅射生产的ITO玻璃往往需要经过搬运、涂胶、固化、曝光、显影、脱膜、丝印、分 切、贴合等一系列加工工序。如果ITO膜层的硬度值不...
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