技术编号：8311058
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体行业中，自动化物料搬运系统(Automatic Material Handling System ；AMHS)是业界最灵活的集合储存、运输和管控FAB厂不同制程区域之间以及制程设备，量测机台和stockers之间的制品搬运解决方案。而洁净天车(Overhead Hoist Transfer ；0ΗΤ)则是该系统中最主要的执行部件。当多台洁净天车在运行过程中，会与工作人员、生产设备有直接交互，这就需要OHT具有完善的避障功能，确保工作人员人身安全及天...
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