技术编号：8359095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种激光干涉非线性误差自补偿方法及装置，属于激光干涉精密测量。背景技术 激光干涉测量广泛地应用于在精密测量，是目前高精度测量的重要手 段，对长度测量领域具有十分重要的意义。激光干涉测量由于应用的光学器件以及电气器 件等因素的综合影响会导致其测量结果的非线性误差，这项误差具有周期性的特征，其周 期是以干涉条纹的整数点起始和终止，通常可达到几个或十几个纳米的程度不等。在长度 量高准确度要求的测量时，特别是测量误差要求小于IOnm时，干涉测量非线性误...
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