技术编号：8359629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及光学测量，特别涉及一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测 量的方法。背景技术 椭偏仪(简称椭偏仪）是一种利用光的偏振特性获取待测样品信息的光学测量仪 器。其相应的工作原理是将通过起偏器光入射的待测样品表面，通过测定样品表面入射光 和反射光前后偏振态的变化(振幅比和相位差)，从而获得待测样品的信息。旋转偏振器和 旋转单一补偿器的椭偏仪在一次测量中最多获得样品的12个参量；而随着集成电路工艺 的进步和器件结构的复杂化，需要测量的未知量不断增加，使得传统...
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