技术编号：8363069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 现有技术中，使晶圆旋转，并使其边缘位置对应旋转角度加以检测记忆，依据检测 讯号的最大值、最小值来计算晶圆位置的偏心量及方向，以依照该偏心数据进行晶圆的中 心对正。在设于晶圆的平坦部等的开始点及结束点上，由于边缘位置的变化较其他部分急 剧，故藉由将边缘位置数据的变化率达一定程度以上的部分加以计算，并在相同装置上进 行使该平坦部等对输送装置等其他作业台而言位于特定位置的作法已为公知技术（例如， 参照专利文献1)。 先前技术文献 〔专利文献〕 (专利文献1)日...
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