技术编号：8364311
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高平均功率全固态调Q 355nm与532nm激光器在微电子、激光加工、光刻技术、精密材料加工等领域应用广泛，如在电路板加工与立体印刷方面。电路板加工要求紫外激光在高重复频率时提供大于300 μ J的脉冲能量；立体印刷技术要求的是平均功率(一般在0.4?I W之间)；而一般的激光材料加工要求的平均功率在5?10 W水平。紫外光的短波长对于微加工应用有以下两个优越性 第一，较短的波长能够加工更小的部件。光束的衍射现象是限制加工部件最小尺寸的主要因素，最小可达...
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