感光性树脂组合物、使用其的硬化膜的制法、硬化膜、液晶显示装置及有机el显示装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8367396

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薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下记作"TFT")型液晶显示元件或磁头元 件、集成电路元件、固体摄影元件等电子零件中,通常为了使配置为层状的配线之间绝缘而 设置有层间绝缘膜。形成层间绝缘膜的材料优选为用于获得所必需的图案形状的步骤数 少,而且具有充分的平坦性的,因此广泛使用感光性树脂组合物。此种感光性树脂组合物例 如可列举专利文献1。 日本专利特开2011-209681号公报发明内容 发明要解决的课题 上述显示装置等电子零件的...
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