技术编号：8397028
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，尤指一种具微机电组件的。背景技术微机电系统(Micro Electro Mechanical System,简称MEMS)是一种兼具电子与机械功能的微小装置，在制造上乃藉由各种微细加工技术来达成，一般来说，微机电系统通过将微机电组件设置于基板的表面上，并以保护罩或底胶进行封装保护，以使内部的微机电组件不受外界环境的破坏，而得到一具微机电组件的封装结构。请参阅图1，其为现有具微机电组件的封装结构的剖视图。如图所示，现有的具微机电组件的封装结构...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。