压电薄膜谐振器及其制造方法、滤波器以及双工器的制造方法技术资料下载

技术编号:8397828

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利用压电薄膜谐振器的声波装置例如被用作诸如蜂窝电话的无线装置中的滤波器或双工器。压电薄膜谐振器具有其中下电极和上电极隔着压电膜彼此面对的结构。由于无线系统的快速普及,已经使用了许多频带。由此,对于滤波器和双工器的裙边特性(只力一卜特性)的陡度方面的改进存在增长需求。用于改进该裙边特性的陡度的措施是增大压电薄膜谐振器的Q值。使压电薄膜谐振器的Q值劣化的因素是从谐振器向外侧泄漏声波能量。为提高Q值,提出了在下电极或上电极的表面上设置凸起环(例如,参见日本特开专...
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