技术编号：8414200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石是目前广泛用作II1- V族LED器件GaN外延材料的衬底，但是由于GaN与蓝宝石的晶格失配及膨胀系数的差别，使得在蓝宝石衬底上生长的GaN薄膜位错密度较大，影响了 LED器件的发光效率和寿命。PSS (Patterned Sapphire Substrates)即图形化衬底技术，是目前普遍采用的一种提高GaN基LED器件出光效率的方法，该方法可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小了有源区的非辐射复合，减小了反向漏电流，提高了LED的寿命。有...
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