技术编号:8421816
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。因为在沉积薄膜后执行退火时由于衬底大小的增大而难以确保均匀性,所以存在许多替代方案,其中之一是使用激光脉冲的退火方法。三个主要因素可影响激光退火。三个因素包含线束轮廓,其表示所辐射的激光束的线长度和均匀性;激光能量,其表示激光脉冲的能量强度;以及脉冲形状,其表示激光束的脉冲形状。这三个因素是可随激光脉冲的次数增加而变化的值。当这些因素具有超过参考范围的值时,退火工艺中的缺陷增加,大规模生产的操作时间减少,且因此存在限制在于,生产效率降低。从多个激光光源射出...
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