技术编号:8488899
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体中,磁阻随机存取存储器MRAM (Magnetic Random AccessMemory)由于具备低耗能、非挥发等特性而越来越受到业界的重视。然而,在现有技术中,如何将MRAM器件的制造工艺嵌入到标准的CMOS工艺之中,仍然没有得到很好的解决。为此,本发明提出,将磁阻随机存取存储器MRAM的制造嵌入到标准CMOS工艺之中。发明内容针对现有技术的不足,本发明提出,将MRAM的制造嵌入到标准CMOS工艺之中,可以降低工艺难度,并改善磁隧道结(MTJ)...
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