一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法技术资料下载

技术编号:8497812

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石英微机械陀螺具有体积小、成本低、功耗小、可靠性高、抗过载能力强及可批量生产等优点,使其适用于战术武器指导、微小卫星姿态控制、微小飞行器导航、作战平台稳定控制及微小型机器人等军事领域,又可广泛应用于汽车稳定控制系统、相机防抖系统、医疗仪器、运动机械及玩具等民用领域。石英音叉是石英微机械陀螺的敏感元件,基于哥氏效应进行工作,利用压电效应和逆压电效应进行驱动和检测。工作时,利用逆压电效应,驱动叉指沿驱动轴方向产生在音叉所在平面内固定频率和固定幅值的持续振动,当...
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