技术编号：8619411
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前在真空生产线中，一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，真空腔室内的气体经抽气泵抽出进入两侧的支管，再由两侧支管汇合进入主管，由前级抽气泵排出，这样涉及到抽气泵连接的支管与主管连接的问题，现有技术中往往是主管位于高于真空腔室的上盖，抽气泵连接支管与主管通过金属软管进行连接，这样一方面每个真空腔室在需要打开或盖上上盖时都需要将抽气泵连接的支管与主管的金属软管进行手工拆卸，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样需要花费...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。