弹性波装置用复合基板以及弹性波装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8626310

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以往,已知有支承基板和压电基板贴合的弹性波装置用的复合基板。作为弹性波 装置,例举有在这样的复合基板中压电基板的表面上设有能够激励弹性表面波的梳形电极 的装置等。作为支承基板,采用具有比压电基板更小的热膨胀系数的基板的话,由于温度变 化时的压电基板的大小变化得到抑制,所以弹性波装置的频率特性的变化得到抑制。又,通 过将压电基板中与支承基板贴合侧的面制作为粗糙面,乱真信号的产生产生得到抑制(参 照专利文献1)。此时,在梳形电极附近与弹性表面波一同产生的作为...
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