技术编号：86548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明有关于一种，特别是一种提供基板作蒸镀制造工艺的(evaporation module of evaporation machine and evaporation method utilizingthe same)。 背景技术请参阅图1，现有的真空蒸镀设备10用以对基板20进行蒸镀制造工艺，该真空蒸镀设备10包括有腔体11以及蒸镀机台12，蒸镀机台12包括有复数蒸镀源121、122、123、124，并且这些蒸镀源121、122、123、124依序以线性方式排列且分别为电洞注入蒸镀源(HIL)、电洞传输...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。