技术编号：8692523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。OLED，即有机发光二极管，在OLED器件制作过程中，需要使用金属掩膜板来达到对玻璃基板上发光像素部分区域蒸镀有机材料的目的。随着OLED技术的发展，OLED产品尺寸及玻璃基板尺寸都在不断增加，这就要求蒸镀金属掩膜板的尺寸要不断增大，为了保证精细金属掩膜板的制作精度，蒸镀所使用的掩膜板大多采用条状子掩膜板形式。具体地，如图1所示，掩膜板包括多个条状子掩膜板101、支撑子掩膜板102、侧边子掩膜板103、外框105，具体地，条状子掩膜板101并列排列在支撑子...
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