技术编号：8730626
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种抗干扰阶梯平面角 反射镜激光干涉仪。背景技术 激光器的出现，使古老的干涉技术得到迅速发展，激光具有亮度高、方向性好、单 色性及相干性好等特点，激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广 泛精密长度、角度的测量如线纹尺、光盤、量块、趙密丝紅的检测；精密仪器中的定位检测 系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统； 微小尺寸的测量等。在大多数激光干涉测长系统...
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