技术编号：8734038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着社会的进步和技术的发展，近年来，手机、平板电脑、笔记本电脑等电子产品的体积越来越小，人们对这些电子产品的性能要求也越来越高，从而也要求与之配套的电子零件的性能不断提高。在这种情况下，基于微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem, MEMS)的MEMS传感器被应用于多种电子产品内，MEMS麦克风和压力传感器作为常见的传感器也越来越受到人们关注。MEMS传感器，包括外部封装结构，以及设置于外部封装结构内的MEMS传感器芯片和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。