技术编号：8752771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硬质薄膜的应用广泛，其力学性能对镀有硬质薄膜的零件的性能影响很大。几乎所有的薄膜中存在着某种残余应力，特别是硬质薄膜，薄膜的残余应力对薄膜的其它性能有明显的影响，大的残余应力甚至可以导致薄膜的整体失效。为了深入研宄薄膜残余应力的本质及其影响，需要建立精确的测量方法。目前有一些实验方法通过逐层剥离不锈钢基体表面的硬质薄膜，来分析硬质薄膜的应力沿着层深的分布。在此过程中，需要对薄膜进行逐层腐蚀剥离。为了使每次腐蚀剥离的膜层厚度尽量一致，需要控制腐蚀时间。但是，...
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