技术编号:8796828
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着晶圆的广泛使用,传统的晶圆标识的方法有气动冲针、丝网印刷、机械压痕、喷墨打印、照相腐蚀、化学腐蚀等,这些加工方法都存在各种各样的不足与缺陷,缺乏激光打标角度校正装置,晶圆打标时的打标位置无法准确把握,打标出来的字不均匀,出现间隙与断隙,效率低下,现有技术已越来越不符合晶圆附加的加工要求。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种激光打标角度校正装置,该激光打标角度校正装置可以准确确定晶圆的角度位置,使得在对晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。