技术编号：8800161
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电镀工艺及其装置，尤其涉及一种在镀层金属表面制备阵列微纳结构的电镀装置。背景技术随着社会对技术创新需求的增长，以前主要用于装饰性制品的金属与非金属电镀技术，现在已经成为重要的功能性镀层和精密电镀技术。特别在半导体微电子产业当中应用十分广泛，且随着半导体集成电路向高密度、轻小型化发展，各种新型功能性电镀技术将会不断涌现。然而目前成熟的电镀工艺仅可实现镀层的紧密性和表面光滑性，未能通过直接控制电流、电镀液等直接在镀层金属表面制备阵列微纳结构。通过...
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