技术编号：8824341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在光伏电池领域，应用平板式连续传输型真空设备对衬底进行镀膜工艺，用于电池不同层导电膜的制备。导电膜制备过程是在真空环境下进行的，所以需要将衬底传输到真空设备中，镀膜工艺完成后，再将衬底传输到真空室外。真空设备上均设置有真空锁，真空锁的作用是隔绝大气与真空室来保证真空设备的真空度。设备工作时，根据生产效率和工作节拍的要求需要频繁的打开、关闭真空锁，真空锁的能否持续稳定的开、关是满足生产需求的其中一个关键因素。如图1所示，真空锁的阀板结构，此结构中由销轴3将两...
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