技术编号：8841473
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前在真空镀膜设备上使用的导向结构分别为机械导向和磁导向。机械导向由于结构复杂，对加工精度、安装精度要求极高等弊端逐渐被磁导向所替代。磁导向通常为相斥结构，所以决定了其结构占用空间和面积大，由于占用空间大导致腔体内部空间随之增大，因而使得设备成本增加，另外，相斥结构使用并不是非常稳定，且造价昂贵，安装困难。此外，磁导向在真空镀膜设备上的使用还存在一个缺点，在使用加热的真空镀膜生产线设备上，由于温度提高，导致基片架会出现膨胀，基片架与导向接触的导向结构容易出...
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