一种晶片角度测试仪的制作方法技术资料下载

技术编号:8846913

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X射线晶片角度测试仪应用X射线衍射原理,通过采用测角方式对各种单晶晶片进行角度测量及晶向的确定。生长出来的各种直径单晶晶锭先加工成晶,再加工成晶片,加工的晶片需要对晶片的单晶晶体角度精确地测定,同时要准确地判定晶体的晶向。传统的晶片角度测试仪,由工作台、上盖板、大型高压变压器、电器柜、测角仪等组成,测量角度范围窄、占地面积大、工作效率低、设备耗电量高、角度及晶向测量精度低,其X射线定向仪经晶片反射后被金属管接收,直接由微安表显示射线的峰值判定晶片的角度正确...
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