技术编号：8932302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电元件常用于运动或压力感测，例如加速传感器，陀螺仪、高度计等。微机电元件的侦测结果须通过微电子电路予以读出。在其中一类技术方案中，是将微机电元件和微电子电路分开制作为不同的芯片(die)，再封装在一起，构成封装后的微机电模块。图1 一现有技术的微机电模块10，其中的微机电元件11堆叠于微电子电路12。虽此设计可缩小封装所占面积，但具有至少一缺点微机电元件11与微电子电路12通过堆叠部分进行讯号沟通，故微机电元件11与微电子电路12间的堆叠对准精度要求极...
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