一种多线切割导轮在线检测系统的制作方法技术资料下载

技术编号:8970301

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本实用新型涉及一种多线切割导轮在线检测系统。背景技术目前,磨削技术已经非常成熟,广泛应用于精密机械加工,但是仿形磨床,特别是大尺寸、微结构成型磨削应用尚不广泛。在晶片和太阳能硅片多线切割,带有导线槽的导轮是多线切割机关键零之一,它的制造精度直接决定了晶片的切割质量。在导轮基体上涂覆聚氨酯材料,在聚氨酯材料上加工导线槽是多线切割用导轮的主流技术,导线槽可以使切割线均匀、稳定地分布在导轮上,进而保证硅片或晶片的厚薄均匀性性。通常情况下,多线切割机用导轮的切割线...
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