多参数传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9041938

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随着MEMS技术发展,各种各样的MEMS传感器在很多领域得到应用。在手机、PAD相关的应用中,加速度计、磁力计、压力计、温度计以及湿度计,已经逐渐成为智能手机的标配。其中,不同的传感器检测不同的环境参数,然后由各自的信号处理电路来处理传感器输出的信号。增大了电路的面积和功耗。现有技术的传感器中不同的传感器检测不同的环境参数,然后由各自的信号处理电路来处理传感器的输出信号,浪费了电路面积,增加了功耗。期望集成的传感器能够提供多个环境参数、具有小的面积和低的成...
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