一种液晶显示屏曝光机的制作方法技术资料下载

技术编号:9042633

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曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,它常用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。现有的曝光机曝光的尺寸较小,不适用于大尺寸的基板曝光,若将现有的曝光机对大尺寸的基板进行曝光,其曝光的效果极差,基板的曝光面曝光不均匀,特别是基...
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