技术编号：9054263
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着柔性电子器件的发展，大量场发射技术采用柔性电子材料。柔性电子器件具有易弯曲，不易折断产品性能。在场发射装置中，柔性电子器件有最大的弯曲极限，如果超出最大的弯曲期限，所述装置会遭到损坏。实用新型内容本实用新型为了减少装置最大弯曲造成的损坏，提出一种一种带应力传感器的场发射结构。一种带应力传感器的场发射结构，包括衬底、碳纳米管、阳极和支架，其特征在于应力传感器位于衬底和阳极之间位置，所述结构固定在支架上。应力传感器为膜状结构，一般采用TiN薄膜。应力传感器...
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