技术编号：9066382
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。压力传感器是最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及汽车、机械工业、自动化、家电等众多领域。压力传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器等。其中，压阻式压力传感器具有精度高、线性特性好的优点，应用最为广泛。压阻式压力传感器主要为基于MEMS原理的硅阻式压力传感器，硅阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的，在硅膜片特定方向上扩散4个等值的半导体电阻，并连接成惠斯...
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