技术编号：9082906
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前随着太阳能光伏电池的发展，光伏电池线路集成度的不断提高，线宽的不断减小，光伏电池对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等。这主要是因为抛光片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。硅片表面的洁净度及表面态对高质量的硅器件工艺是至关重要的。如果表面质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制得多么优秀，也是不可能获得高质量的半导体器件的。除...
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