技术编号：9186271
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光学元件表面疵病是由于元件表面在抛光过程中磨制不均匀所产生的，其表现为 元件表面上存在一系列划痕或麻点，其会影响光学成像系统的成像质量并危害高功率激光 系统的安全正常运行。光学元件表面疵病的检测结果是判断光学元件合格与否的重要指标 之一。目前，在工程检测任务中，主要采用基于暗场散射成像法研制的设备仪器对于光学元 件表面疵病进行定量检测，相关设备仪器可W对表面疵病的横向尺寸（划痕的宽度、长度， W及麻点的直径）进行定量测量，然而其不能获得表面疵病的纵向深度...
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