技术编号：9213051
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硅外延加工设备是应用比较广泛的加工设备，主要用于对基片等被加工工件的表面进行镀膜等工艺。在工艺过程中，通常需要将被加工工件加热至工艺所需的温度，被加工工件的温度均匀性是影响工艺质量的主要因素之一。由于感应加热具有升温块、寿命长、热惯性小等优点被广泛应用，感应加热包括立式感应加热和平面式感应加热，其中，立式感应加热具体为感应线圈环绕设置在反应腔室的侧壁外侧，用以对在反应腔室内沿竖直方向设置的多层托盘进行加热，虽然可以提高单次工艺的产量，但托盘径向上温度的均匀...
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