液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法技术资料下载

技术编号:9216362

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目前,低温水系正胶剥离液,透明易挥发性液体,易燃,密度(25°C)约为1.0g/ml。 铝膜水系光阻剥离液主要用于FPD (Flat Panel Display,平板显示器)面板生产的光阻剥 离,其使用工艺温度为80°C左右;目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMS0) 和超纯水组成,该产品主要存在以下几点缺点 1)用该低温水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击, 导致产品良率降低; 2)该低温水系正胶剥离液的使用工艺...
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