技术编号：9236604
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有的集成电路以及半导体制造领域内，晶体管是构成半导体器件的一种基本元件之一，因此被广泛应用。随着集成电路的集成化，以及半导体器件的微型化，晶体管的性能对于集成电路的影响越发显著。在影响晶体管性能的因素中，晶体管的栅极寄生电容会对晶体管的性能产生较大的影响。晶体管的栅极采用多晶硅或金属等导电材料制成，相邻栅极之间填充绝缘介质材料，使得相邻栅极之间形成寄生电容，影响晶体管的性能。并且，在晶体管的源漏极表面还会形成位于所述绝缘介质材料内的金属插塞，所述金属插塞...
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