晶圆可接受测试结构及其形成方法技术资料下载

技术编号:9236734

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通常晶圆在制造出来之后,在进入后续切割封装之前,需要对其进行拣选测试。通过拣选测试将最小的单元,即晶粒分类,将有缺陷或是不具备正常工作能力的晶粒标注上记号,并在切割晶圆时将这些晶粒过滤出来丢弃。从而避免不良的晶粒进入封装及后续制程,避免成本的无端浪费。拣选测试通常包括晶圆可接受测试(WAT, Wafer AcceptanceTest)和电路探测(CP, Circuit Probe)。WAT检测步骤在完成晶圆前期生产之后,以及在晶圆切割和封装之前,用来保证一...
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