技术编号：9260193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。核孔膜，又称作核微孔膜或重离子微孔膜，它是利用重离子在绝缘物质薄膜上打孔然后化学蚀刻扩孔而成。在一定的蚀刻条件下(温度、浓度等)，核孔膜蚀刻保持相同的速度，孔径大小与蚀刻时间呈线性关系。核孔膜孔径大小是核孔膜的主要性能指标之一，主要通过蚀刻时间来精确控制。为了精确蚀刻控制孔径，蚀刻设备需要满足以下条件(I)蚀刻液的流动性蚀刻液保持充分流动，使得蚀刻液体的浓度保持均匀。(2)材料的耐腐蚀性与蚀刻液体接触部分能够耐强碱腐蚀。(3)蚀刻温度均匀性蚀刻液体温差小，...
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