具有利用原子层沉积形成的集成计算元件的流体分析系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9264637

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集成计算元件(ICE)已用于进行流体和复杂样品的材料组成的光学分析。ICE可 通过提供一系列层来构建,该些层具有被设计W在所需波长下进行建设性或破坏性干设的 厚度和反射率,从而专口针对与光相互作用并提供允许预测化学或材料性质的光学计算操 作的目的来提供编码图案。ICE的构建方法类似于光干设滤波器的构建方法。对于复合波 形,通过常规干设滤光器方式构建的ICE可能需要极大量的层。除了制作复杂外,如此建造 的ICE可能无法在严酷环境中最优工作。例如,具有极大量...
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