技术编号：9273695
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。湿度监测在气象学、环境监控、智能家居和工业生产控制等领域有广泛的应用。系统小型化趋势促进了电容、电阻和声波微装置湿度传感器的发展，即选用可以与空气中水汽相互作用的湿度敏感材料，通过测量其电容、电阻或谐振特性的变化，来表征环境湿度。相比于电阻与电容传感器，声波谐振系统提供的频率信息可以由更高精度的数字系统测量，因此受到更大的关注。薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，简称FBAR)是最近研宄和应用发展很快的一种采用薄膜和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。