技术编号：9282739
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及将保持对象物利用粘附片材保持并能够将其在真空环境中移动的保持装置、和对保持在该保持装置上的保持对象物进行真空处理的真空处理装置。背景技术在液晶显示器(IXD)或等离子显示器(PDP)等平板显示器的制造工序中，包含基板组装工序及基板输送工序，有为了保持基板而使用粘附卡盘装置的技术。例如在日本特许第3882004号公报所记载的装置中，将由基板输送用机器人移送的基板以预定压力按压在配置于保持板的粘附部件上，利用粘附部件的粘附力保持基板。还记载有通过将...
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