技术编号：9290916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 碳化硅（SiC)由于硬度高且耐热性和耐磨性优异而被用作研磨剂，此外，由于刚 性高且导热率高，因此在能量领域和航空宇宙领域中，作为代替金属等的材料，例如轴承和 机械密封、半导体制造装置用部件来使用。碳化硅进一步具有作为半导体的性质，其单晶被 用于功率器件等，是受人关注的材料。 碳化硅粉或多晶，作为所述用途的起始原料，其制法主要为以下三种 第一种是艾奇逊法（Achesonprocess)，在石墨电极周围将娃砂与焦炭进行通电 加热；第二种是气相沉积法，利用硅烷...
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