技术编号：9392448
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在利用铸锭炉制造多晶硅晶体时，需要通入氩气作为保护气体，防止炉内各类部件的氧化，同时带走炉内的挥发性杂质气体。其中，氩气进入铸锭炉顶部后通过石墨直筒，再经过直筒状的气流导出口，导出到硅料上部，然后再经过铸锭炉排空气炉排到炉外，在此过程中可将炉内杂质气体带走。然而，目前这种气流经过直筒状端口直接导出的方式存在气流流速慢，导出的气体覆盖硅料表面积小，容易形成紊流等的缺点，导致杂质气体的排出不充分，特别是随着硅锭尺寸越来越大，气流覆盖面积与流速愈加不足。发明内容...
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